TFT-LCD 原理与制程.pdf

TFT-LCD顯示原理 TFT-LCD顯示原理 製程技術與設備 製程技術與設備 吳 玉祥 博 士 吳 玉祥 博 士 yswu@cc.chit.edu.tw 光機電奈米量測系統科技整合研討會 1 大 綱 • 平面顯示器(FPD)的分類 • 薄膜電晶體液晶平面顯示器(TFT-LCD)簡介 • TFT-LCD的顯示原理 • TFT-LCD製造流程 • TFT-LCD Array段製程與設備 • TFT-LCD Cell 段製程與設備 光機電奈米量測系統科技整合研討會 2 兩兆雙星產值預估 兩兆雙星產值預估表 單位：新台幣億元 產 業 91年產值 92年產值 93年預計產值 96年預計產值 兩 半導體產業 6,529 8,188 10,783 15,912 兆 影像顯示產業 3,006 4,162 6,620 13,700 數位內容產業 1,537 1,892 2,268 3,700 雙 星 生物技術產業 1,109 1,316 1,448 2,500 合計 12,181 15,558 21,119 35,812 資料來源：經濟部工業局 光機電奈米量測系統科技整合研討會 3 平面顯示器(FPD)的分類 (1) 穿透式 ：1.自發光型： (a) 陰極射線映像管 (CRT) (b)電漿面板平面顯示器 (PDP) (c)場發射平面顯示器 (FED) (d)電激發光平面顯示器 (EL) ： a. 有機 ：--有機電激發光平面顯示器 (OLED) --高分子電激發光平面顯示器 (PLED) b. 無機 (e)發光二極體 (LED) 2. 非自發光型 ：液晶平面顯示器 (LCD) (a)被動矩陣式： -- 扭曲向列液晶 (TN) -- 超扭曲向列液晶 (STN) (b) 主動矩陣式：-- 非晶矽薄膜電晶體 (a-Si TFT-LCD) --低溫多晶矽薄膜電