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六自由度奈米平台 課程名稱:奈米定位與量測技術 任課老師:朱志良 博士 班級:碩研機械一甲 學號:MA010104 學生:王贊賓 六自由度 常見六自由度並聯式機構 G. Pritschow, K. –H. Wurst, “Systematic design of hexapods and other parallel link systems,” CIRP Annals - Manufacturing Technology, vol. 46, no. pp. 291-295, Jan, 1997. 典型撓性鉸鍊的形式 Pernette Eric; Henein Simon, Magnani Ivo, Clavel Reymond, “Design of parallel robots in microrobotics,” Robotica, vol. 15, no. 4, pp. 417-420, July-Aug, 1997. 滑動接點撓性鉸鍊 吳冬立, ” 並聯式六自由度奈米級微定位平台研製,” 國立台灣大學機械工程學研究所碩士論文,2002 兩個球窩接點撓性鉸鍊 吳冬立, ” 並聯式六自由度奈米級微定位平台研製,” 國立台灣大學機械工程學研究所碩士論文,2002 6-PSS實體模型 1：ground、2：積層式壓電致動器放置處、3：prismatic flexure joint、4：spherical flexure joint、5：spherical flexure joint，(1)：固定座，(2)：一對PSS機構，(3)：移動平台 吳冬立, ” 並聯式六自由度奈米級微定位平台研製,” 國立台灣大學機械工程學研究所碩士論文,2002 前視圖 吳冬立, ” 並聯式六自由度奈米級微定位平台研製,” 國立台灣大學機械工程學研究所碩士論文,2002 六自由度微定位平台 Rong-Fong Funga,Wang-Chi Lin, “System identification of a novel 6-DOF precision positioning table,” Sensors and Actuators A,vo1.50,pp.286–295,2009 圓柱體三自由度微定位平台初步設計圖 Rong-Fong Funga,Wang-Chi Lin, “System identification of a novel 6-DOF precision positioning table,” Sensors and Actuators A,vo1.50,pp.286–295,2009 圓柱體三自由度微定位平台作動模擬圖θx方向 范鈞婷, ”一種六自由度微定位平台的設計與量測,”國立高雄第一科技大學 機械與自動化工程系碩士論文,2006 圓柱體三自由度微定位平台作動模擬圖θy方向 范鈞婷, ”一種六自由度微定位平台的設計與量測,”國立高雄第一科技大學 機械與自動化工程系碩士論文,2006 圓柱體三自由度微定位平台作動模擬圖Z方向 范鈞婷, ”一種六自由度微定位平台的設計與量測,”國立高雄第一科技大學 機械與自動化工程系碩士論文,2006 平面串聯式三自由度微定位平台作動模擬圖θz方向 范鈞婷, ”一種六自由度微定位平台的設計與量測,”國立高雄第一科技大學 機械與自動化工程系碩士論文,2006 平面串聯式三自由度微定位平台作動模擬圖Y方向 范鈞婷, ”一種六自由度微定位平台的設計與量測,”國立高雄第一科技大學 機械與自動化工程系碩士論文,2006 平面串聯式三自由度微定位平台作動模擬圖X方向 范鈞婷, ”一種六自由度微定位平台的設計與量測,”國立高雄第一科技大學 機械與自動化工程系碩士論文,2006 CAD model of the stage based on flexure hinges Qiaokang Liang , DanZhang, “Six-DOF micro-manipulator based on compliant parallel mechanism with integrated force sensor ,” Robotics and Computer-Integrated Manufacturing ,vo1.27pp.124–134,2011 A virtual prototype of the proposed micro-manipulator Qiaokang Liang , DanZhang, “Six-DOF micro-manipulator based on compliant parallel mechanism with int