文档详情

曝光设备.pdf

发布:2024-02-20约1.9万字共14页下载文档
文本预览下载声明

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220526187U

(45)授权公告日2024.02.23

(21)申请号202322225011.7

(22)申请日2023.08.17

(73)专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公

显示全部
相似文档