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(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220526187U
(45)授权公告日2024.02.23
(21)申请号202322225011.7
(22)申请日2023.08.17
(73)专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公
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(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220526187U
(45)授权公告日2024.02.23
(21)申请号202322225011.7
(22)申请日2023.08.17
(73)专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公