对准系统及其控制方法、激光直写曝光设备.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112835276 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 202011631862.6
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
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