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感性耦合等离子体刻蚀设备的混合模拟方法及工艺验证项目可行性研究报告.pptx

发布：2025-02-16约小于1千字共31页下载文档

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2025-01-08;目录;01;;;;02;;;;03;混合模拟方法结合了流体动力学模型和蒙特卡洛模型，通过对等离子体刻蚀过程中的物理现象进行数值模拟，得到精确的刻蚀轮廓和微观形貌。;;刻蚀设备改进;04;选择具有高刻蚀速率、低损伤阈值和高选择性的材料。;刻蚀气体选择;;05;数值模拟方法;详细估算项目所需的设备购置、材料费用、人员成本等，确保项目在预算范围内。;技术风险;06;前期准备;工艺优化阶段;定期检查项目进度和完成情况，确保项目按计划进行。;07;;;;THANKS

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