泵的分类整理.xls

FAB内各泵简介 Sheet3 附图 名称 原理 对应机台 SPUT-1，SPUT-2 SPUT-1，SPUT-2 SPUT-2 以压缩空气为动力, 由膜片往复变形造成容积变化的容积泵 Au CSS,CSP,CSW 气动隔膜泵 Diaphragm pump 以交流电为工作动力，电流通过电磁绕组形成交变固定磁场，与可运动的泵体形成交互作用，带动泵体转动，推动液体输出。 PLAT-1,PLAT-2 PSC-1,PSC-2 低温泵 Cryopump 电磁泵 SOLENOID PUMP 涡轮分子泵 Turbo molecular pump 由FAB内各机台分类 用途 抽真空 抽真空 抽真空 液体传输 液体传输 构成涡旋式真空泵抽气用涡旋体的曲线为渐开线。固定的涡旋体称定子，转动的涡旋体称转子。转子无自转而以一定的回转半径平动公转。随着转子的平动公转，在两个涡旋体之间形成了吸气腔和压缩腔。吸入气体后的工作腔的容积随着转子的运动而缩小，从外圈向中心移动排出气体，连续完成了吸气、压缩和排气过程。 干泵 Dry pump (涡旋式) 干泵 Dry pump (爪式) 抽真空 利用两个爪状的叶轮相对旋转时产生的空隙形成局部真空，来达到抽，排气体的效果 转子由一系列轴心上的涡轮叶片组成。当轴心以高速旋转时，与第一组叶片接触的气体分子将因叶片所提供的动量，传递给下一组叶片，而后经多组叶片的压缩，从排气段排出，而达到降低分子浓度以致抽真空的目的 利用低温表面捕集气体，再将气体分子排出的真空泵。 COATTER-1 COATTER-2 特点 爪型干式泵：英国生产的是罗茨转子加上2-3级爪式的干泵，德国生产的是4级全爪型的干泵，英国泵是在20Pa时有最大抽速，而德国泵是在300Pa时有最大抽速。这种爪型干泵的泵温较高(250℃)，适于半导体工业应用，因为温度高就不会使工艺过程中产生的蒸汽凝结在泵内。为了防止在泵内形成颗粒物，也可以根据气镇原理用掺氮的办法使泵内蒸汽不凝结而排出泵外。这种爪型干泵极限压力为l～10Pa，抽速从25～100m3/h。 其抽气机构是由旋转的涡旋体和固定的涡旋体组成。旋转的涡旋体绕固定的涡旋体做四连杆机构的平动，由形成的月牙腔吸气、压缩和排气，气体从周边吸入向中心压缩由中间排气。这种泵压缩平稳，驱动力距变化小，故振动小，噪声低。这种泵除在半导体工业中应用外，完全可以代替旋片泵而获得无油清洁的真空。涡旋式干泵可以从大气抽到极限压力l～10-1Pa，泵的抽速一般4～10L/S较多，属小型无油泵。 在国外的半导体及光学薄膜领域，大多采用低温泵作为主泵。因为低温泵工作压强范围宽，可从10-1～10-8Pa，抽速大，清洁无油、无运动部件，并能抽除有害气体，特别是对水蒸汽又有很高的抽气能力，对于制备高质量的薄膜非常有利。在美国电子行业78％都使用低温泵，而大规模集成电路生产几乎全部采用低温泵。所以国外生产低温泵厂家很多，抽速从7501L/S一28000L/S(对氮气)。 涡轮级叶片与牵引级螺旋槽组成的复合分子泵发展很快，从中真空到超高真空均有产品出售。这种泵由于在中真空范围有很大的抽气量，因而在溅射、刻蚀和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、低压化学汽相沉积(LPCVD)等装置中作为主泵。为了提前高转速，改善泵的性能，国外涡轮分子泵都采用磁悬浮轴承，最大的抽速已达40000L/S，从而扩大了涡轮分子泵的应用范围。 可以空运行;无电火花;可选材质适应大多流体;允许通过固体颗粒;自吸启动工作;随时开、关出口，不怕堵塞;根据背压自动调节流量;无动密封，不污染物料;低剪切力，不易破坏物料化学分子结构;无需地基，可作移动式泵 密封性好；加装变频器，可提供平稳的流量 優點: 單級壓縮比大, 較少級數可達真空度需求 缺點: 1. 要求精度高 2. 振動噪音大 3. Dead zone明顯,易有積垢 4. 低壓段效率低 2)爪式干泵(claw type pump) 1)Dry pump的优点 (i) 乾淨的真空環境 (ii) 較優的機械性能, 如可靠度, 維修少,成本低 工作压力：1000－10E-3 Torr 工作壓力: 10-3~10-10torr 系統特性: (4)無油氣污染之虞 (1)冷媒純度要求 (2)抽氣率高 (3)需粗抽Pump支援 (5)需定期再生保養 (6)需技術與工具維修 抽氣速率: 50 ~ 500 L/sec 轉速: ~ 24,000 rpm (no oilbackstreaming) (1)啟動迅速 (5)轉子受損維修不易 一、真空的定义及分类 主要运用在薄膜沉积，干蚀刻等制程设备。 二、真空在Bumping中的应用 低真空：1 Torr以上 中真空：1－10E-3 Torr 高真空