太阳能电池切片生产工艺介绍.ppt
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b 不合格品与描述 不合格片的主要表现: 线痕片:在硅片表面有较明显细小横向或斜向印痕。 崩边片:是指在线切过程中,硅片边缘受内部应力或外部力量的影响而导致脆断。 边缘片:是指在线切或清洗、检测环节中,导致硅片边缘受损。(造成原因下述) 穿孔片:指硅片表面出现的小孔 翘曲片:指由于硅棒本身的质量问题,切好的硅片会由于内部未消除应力的释放而造成硅片凹凸不平,或造成波浪形。 外形尺寸:有些硅片的外形尺寸(对角线或边长)如果达不到客户的尺寸要求,虽然其他都没有问题,但照样是不合格品。 TTV:是检测硅片厚薄均匀性的唯一指标。(有专门的TTV检测仪,固定的检测方法---5点检测法---9点检测法) 硅落:指硅片的最外延有较小面积的硅脱落现象 缺角:指硅片的一个或几个角有折断现象 碎片:指硅片出现严重的断裂情况 林禹 南安市三晶阳光电力有限公司 ■ 光伏发电产业背景 ■ 硅片加工流程 ■ 太阳能级单多晶硅片技术参数 ■ 开方介绍 ■ 切片介绍及工艺控制应用 ■ 超声波清洗 ■ 切片常用的概念与知识 ◆光伏发电产业背景 化石能源储量的有限性是发展可再生能源的主要因素之一。根据世界能源权威机构的分析,按照目前已经探明的化石能源储量以及开采速度来计算,全球石油剩余可采年限仅有41 年,其年占世界能源总消耗量的40.5%,国内剩余可开采年限为15 年;天然气剩余可采年限61.9 年,其年占世界能源总消耗量的24.1%,国内剩余可开采年限30 年;煤炭剩余可采年限230 年,其年占世界能源总消耗量的25.2%,国内剩余可开采年限81 年;铀剩余可采年限71 年,其年占世界能源总消耗量7.6%,国内剩余可开采年限为50 年。 世界常规能源储备状况 2004-2010年世界太阳能电池增长状况与趋势 欧洲光伏发电系统安装情况 ◆ 光伏产业链 半成品库 切断 检验 切方 自检 滚圆 不合格 检验 合格 合格 不合格 准方棒粘接 切片 自检 脱胶预清洗 插片 超声波清洗 检验 合格 包装 成品库 不合格 单晶硅片生产工艺流程 切 断 开 方 切 片 硅片 半成品库 硅锭粘接 脱胶 切断(去头尾) 检验 合格 准方棒粘接 切片 自检 脱胶预清洗 插片 超声波清洗 检验 合格 包装 成品库 不合格 多晶硅片生产工艺流程 破锭 边皮料 磨面 头尾料 不合格 倒 角 ◆ 太阳能级单多晶硅片技术参数 规格(尺寸)(mm) 125*125;156*156 导电类型 P型;N型 晶向及晶向偏差 100±2o 电阻率范围(欧母·厘米) 少子寿命(us) 氧含量(atoms/cm2) 碳含量(atoms/cm2) 位错密度(个/cm2) 晶体硅片边长(mm) 125*125±0.5;156*156±0.5 对角线(mm) 150±0.5 ;220±0.5 中心厚度值(um) 200±30 厚度偏差(um) TTV≤40,边缘6mm处测量 弯曲度BOW(um) ≤70 锯痕深度(um) ≤15 外观状况 无油污、无孔洞 钝形缺角类缺陷 长度≤1.5mm×1mm,每片缺陷数量≤5个 V型缺角类缺陷 0 ◆ 开方介绍 硅锭 硅棒 ◆ 切片机介绍 ◆ 切片原理 切片的原理及过程:利用切割钢丝带动砂浆,利用砂浆中SiC微粒与晶棒进行摩擦,达到切割的目的。并不是钢丝切割晶棒,钢丝的摩尔硬度为5.5左右,单晶硅的摩尔硬度为6.5左右,而SiC的摩尔硬度为9.25-9.5左右,因此钢丝是切割不了晶棒的. ◆设备基本特性和技术参数 工件 工件尺寸 □156*L320mm并排2根 长度 最
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