角位移传感器校准方法的探讨 - 陕西省计量科学研.PDF

角位移传 感器校准方法 的探讨 刘 莹 杨 宁 (陕西省计 量科 学研 究院 ,西 安 710065) 回 误 摘 要 介绍了角位移传感器的分类及技术指标 ,提 出了角位移传感器静态技术指标灵敏度 、线性度 、 程 差 、重复性 、零位电压和相位移等参数的校准方法和计算公式,通 过对角位移传感器的校准保障了角位移传感器的 各项技术参数满足预期的技术要求。 关键词 角位移传感器 ;校准 ;线性度 DOI:IO.3969/j.issn.1000-0771,2011.03.016 电压 的波动不应超过额定值 的 ±10% 0 引言 2.2 校准用的主要设备 校准用标准器在室 内平衡温度 时间 ≥8h,校准 角位移传感器是一种能感受角位移量并转换 用计量标准器及技术要求见表 2。 成可用输 出信号 的测量仪器 。在各种工程实践和 应用系统 中,角 位移是重要 的被检测量 ,因 此能否 表 2 校准用计量标准器及技术要求 对角位移做精确地检测 ,就 显得格外重要 。角位移 感器按其工作原理可分为 电感式 、差动变压器式 2″ 传 光学分度头 分度值 ≤ (直 、 流差动)、 电阻式和 电容式角位移传 流差动 交 MPE:DCⅤ ±0.0O6%,ACⅤ 感器 。 目前 ,国 内还没有关于角位移传感器检测 的 数字多用表 DCA± 0.03%,ACA± 0.06%。 国家标准或校准规范 ,本 文主要介绍角位移传感器 直流稳压 电源 纹波 电压不大于 0,5% 的静态性能指标 的校准方法 ,为 角位移传感器 的检 电压幅值 和频率偏差不大 于 ±I%,波 交流稳压 电源 测提供参考 。 形失真度不大于 1% 1 角位 移 传 感 器 主 要 技 术 性 能指 标 数字相位计 最小分度值 0.O01° 角位移传感器主要技术性能指标见表 1。 3 校 准 方 法 及 校 准 项 目 表 1 角位移传感器主要技术性能指标 3.l 校准方法 类 型 测量范 围 准确度等级 将被校准 的角位移传感器通过夹具 固定在光 电阻式 滑线 型 O~360° ±0, l% 学分度头的中心轴上 ,并使角位移传感器转动轴与 变阻器 ±60° ±O.I% 光学分度 头 的 中心轴 同轴 ,同 轴度误差 应不大于 变面积 一 + u n ±I% 0.5mm,同 角位移传感器 中心转动部分插人拔 电容式 时在 电感式 变隙式 ±60° ±0,I%