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时栅角位移传感器的动态误差模型及抑制方法研究
一、引言
随着工业自动化、智能化程度的不断提高，角位移传感器在机械、航空、航天、精密制造等领域的应用越来越广泛。时栅角位移传感器作为一种新型的传感器技术，具有高精度、高稳定性等优点，但在实际应用中仍存在动态误差问题。本文旨在研究时栅角位移传感器的动态误差模型及抑制方法，以提高其测量精度和稳定性。
二、时栅角位移传感器概述
时栅角位移传感器是一种基于时间测量的角位移传感器，通过测量时间差来计算角位移。其工作原理是将被测物体的角位移转换为时间信号，再通过信号处理电路进行放大、滤波、整形等处理，最终输出与角位移成正比的电信号。时栅角位移传感器具有高精度、
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