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MEMS薄膜材料力学参数测试结构研究开题报告

【导言】

MEMS（Micro-electromechanicalSystems，微电子机械系统）技术是微型化和集成化电子技术与机械制造技术相融合的产物。MEMS主要由微电子、微机电技术和微纳米加工等多个领域组成。在MEMS中，微加工技术对材料的力学参数测试具有重要的意义，因此本文将针对MEMS薄膜材料力学参数测试结构进行研究。

【研究内容和目的】

薄膜材料在MEMS技术中应用广泛，例如作为微电机、传感器等器件中的材料。在这些器件中，材料的力学参数对器件的性能有着很重要的影响。为了准确地研究薄膜材料的力学性能，需要进行材料力学参数测试。目前，MEMS材料力学参数测试结构研究主要集中于三种类型：

1.薄膜材料拉压测试结构：用于测试材料的拉伸和压缩力学性能。

2.薄膜材料弯曲测试结构：用于测试材料的弯曲力学性能。

3.薄膜材料剪切测试结构：用于测试材料的剪切力学性能。

本文的研究目的是设计并制造三种不同类型的薄膜材料力学参数测试结构，用于测试薄膜材料的力学性能。通过对测试结果的分析和比较，建立起一套可靠、简便而又准确的薄膜材料力学参数测试方法。

【研究方法和步骤】

1.研究薄膜材料力学测试原理和方法，掌握当前国内外薄膜材料力学参数测试结构研究现状，分析其弊端和优点。

2.设计测试样品和测试结构，制造三种类型的薄膜材料力学参数测试结构：拉压测试结构、弯曲测试结构和剪切测试结构。

3.使用光学显微镜、扫描电镜等仪器对测试样品的形貌和微观结构进行表征，分析几何尺寸、材料微观结构产生的影响因素及其对测试结果的影响。

4.使用万能材料试验机等实验设备对测试样品进行力学性能测试，测量相应的力学参数。

5.对测试结果进行分析和比较，建立薄膜材料力学参数测试方法。

【研究意义】

通过本文的研究，建立起一套适合薄膜材料力学参数测试的测试方法，并建立相应的测试结构，有利于提高薄膜材料力学参数测试的准确性和可靠性，在MEMS技术的研究和应用中有着重要的意义。