一种用于改善单晶硅生产过程中坩埚鼓包的方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117418304A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311505242.1
(22)申请日2023.11.13
(71)申请人云南美科新能源发
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CEMIA2020-2-02 半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范—编制说明.pdf
一、工作简况，包括任务来源、主要工作过程、主要参加单位和工作组成员及其所做的
工作等
1、任务来源
为了更好的规范半导体单晶硅生长用石英坩埚行业发展，指导企业生产，让所有生
产企业有统一的标准来衡量产品质量，进行生产。中国电子材料行业协会于2020年决
定制定《半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范》团体标准。
本规范由锦州佑鑫石英科技有限公司，内蒙古欧晶石英有限公司与江西中昱新材料
科技有限公司负责起草。2020年9月成立了编制组，共同起草制定了《半导体单晶硅生
长用石英坩埚生产规范》团体标准。
2、主要工作过程
2020年7月成立了编制组并展开工作。参阅了国内外相关的标准和文献，努力编制
出高