《Plasma等离子处理技术》.pdf

Plasma Etch 漿設備介紹 一部 林國成 PDF created with FinePrint pdfFactory trial version 介紹主題 引言: 客戶最常提出的問題 壹. PLASMA ETCH公司介紹 貳. 什麼是電漿? 參. PLASMA 可能的應用範圍 肆. 機台輪廓介紹 伍. 主要機台重點介紹 陸. 機台操作說明 柒. 重要銷售實績 捌. 免費樣品測試 玖. 維修保養事項 拾. 問題與討論 PDF created with FinePrint pdfFactory trial version 引言: 客 常提出的問題 電漿是什麼? 電漿可以幫助我什麼? 一台多少錢? 台灣有同業在用嗎? 可以看嗎? 要提供什麼周邊設備來配合? PDF created with FinePrint pdfFactory trial version 壹. Plasma Etch公司概況 Plasma Etch Carson City, Nevada U.S.A. PDF created with FinePrint pdfFactory trial version Plasma Etch公司沿革 1980: 成立, 製造第一台電漿設備提供PCB代工服務. 1987: 發明並取得電漿製程溫控專利(US#4,676,865). 1992: 發明並取得箱體靜 遮蔽專利(US#5,082,547). 1994: 發明in-line 電漿系統. 1996: 提供機械手收放板load/unload 系統 1997: 發明電漿盲孔蝕刻系統. 2000: 進入台灣市場 2001: 志聖工業取得台灣市場代理 客戶分布: PCB 70%, 半導體20%, 醫療用途 10% 提供免費Sample服務, 製程OK再談設備 PDF created with FinePrint pdfFactory trial version . 什 是電漿？ 電漿Plasma是20世紀 物理化學重要發現 之一 電漿Plasma 是 部分 離化的氣體 Partially Ionized Gas, 組成成分包括 – 子Electrons – 離子Ions – 原子團Radicals