电感耦合等离子体质谱仪性能比较.doc
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ICP-MS主流产品比较
品牌 Agilent PE Thermo 实验室使用调查 44.59% 29.94% 22.29% 代表产品 Agilent 7500CX,7500CSPE Elan DRC-e,PE Elan DRC II, Elan 9000Thermo X2 1、外观和真空系统标配是Peltier 冷却的石英同心雾化器和Scott雾室。Agilent在石英同心雾化器和进样器上有一些改进,标配的进样器和Varian和Thermo相比增加了HDI设计,满足普通进样的同时也耐高盐。首先是进样量小,一般在0.4ml/min以下,另外加了一路Makeup补充气(也叫稀释气),据说是为了高盐进样的需要,具体原理应该是降低雾化效率,使进入ICP的液滴减少,从而达到耐高盐的目的。也就是说稀释过程是在进样器上实现,而不需要人工稀释,同时也不增加ICP-MS负担。当然,雾化效率低了,多原子干扰也会低。PE标配的进样系统和其它三家有很大不同,采用聚苯硫醚材料的正交雾化器和Ryton雾室,缺点是由于雾化效率低,所以灵敏度相对要低。优点是经用。经用表现为耐高盐、耐氢氟酸、无机有机(100%有机溶液不行,10%甲醇以下没问题,具体可咨询公司或大家补充)都能上,而且材料质地好,不象石英的要操作小心。PE标配的进样系统没有降温系统,雾化效率也低一点标配是Peltier 冷却的石英同心雾化器和Scott雾室。优点是雾化效率高,冷却雾化能降低多原子干扰离子的生成。缺点是不耐高盐、不耐氢氟酸。3、炬、锥和透镜ICP炬是固态数控27.12MHz的射频发生器。ICP炬设计看上去就比较新,接头插拔方便,炬管拆装也比较容易。对于炬管的位置都是自动定位的。
ICP-MS都是双锥设计(样品锥和截取锥)。能提供镍锥和铂锥,铂锥比镍锥更耐腐蚀,更经用,本底更小。截取锥?0.4 锥孔小显然容易盐分沉积,沉积后对锥孔附近的进样环境、二次电离等都有较大的影响。Agilent的离子透镜分为提取透镜和OMEGA透镜。提取透镜包括两组透镜,可以分别设置电压,前面一个可正可负,后面一个肯定是负压。主要是提取锥孔的离子。前面一个设成负压更有利提取,设成正压则可以减少干扰(即所谓软提取)。提取透镜后的OMEGA透镜是离轴的,有利于中性粒子(包括光子)的排除,同时也达到了离子聚焦的目的。PE的 ICP炬采用40.68MHz激发频率。从各自的资料看, 40.68MHz激发频率的ICP炬对样品的适应性能更好;而27.12MHz的ICP炬则能有更有效的离子化。PE公司的炬设计采用了一个PlasmaLok技术,采用两路射频不需要屏蔽装置。ICP炬调节炬管XY轴还是旋钮手动调节截取锥0.9PE的离子透镜设计和以往老仪器相比,并无大的不同(拆装比以前方便多了)。是唯一采用正轴(非离轴)的设计。所以为了避免中性粒子的干扰,当中有一个光子挡板。离子从两边经过。PE在锥孔并没有提取电压,反而设置了正电压防止二次电离的干扰。由于没有提取透镜,所以PE的离子透镜系统很简单,参数设置也较方便。
ICP炬是固态数控27.12MHz的射频发生器。Thermo使用了屏蔽装置。炬管的位置都是自动定位的。
Thermo提供两种锥,Xt和Xs。截取锥?0.75(Xt)0.7(Xs)据介绍Xs提供了高的离子传输效率,适合测量干扰少水平低的情况;Xt锥适合高盐分基体。同时降低了多原子干扰离子的生成和碱金属的响应,所以适合同时测量高含量的碱金属和低水平的重金属。Thermo的离子透镜名字叫Infinity II型离子透镜。也是离轴设计。具体情况不详,从现有资料看,和Agilent设计差不多,也有负压提取,同时采取离轴设计,避免中性粒子的干扰,并达到传输离子、聚焦至四级杆的目的。据Thermo介绍,该系统是免维护的。4、检测器四级杆的区别双曲面杆 –纯粹钼材料双模式检测器,分脉冲和模拟两种模式,需要做双检测器校正。镀金陶瓷双模式检测器,分脉冲和模拟两种模式,需要做双检测器校正。长度最长,钼材料含高纯氧化铝陶瓷双模式检测器,分脉冲和模拟两种模式,需要做双检测器校正。5、碰撞反应池Agilent公司的碰撞反应池技术叫八级杆反应系统ORS(Octopole Reaction System),7500CX通常是排一路氦气,7500CS通常排2路,一路氦气,一路氢气,据Agilent公司介绍7500CS也可选排第3路气,用氨气。用氨气不知道在半导体行业有没有实际应用。但一般使用,Agilent都只使用氦气,在半导体行业,用氦气和氢气。Agilent八级杆,同样也有专利。Agilent公司通常推荐用氦气,100%的。PE公司最早推出反应池技术的。当时是在Elan 6100上推出的,其名称叫动态反应池DRC(Dynamic React
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