GB/T 31854-2015光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法.pdf
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ICS29.045
H 82
中华人 民共和 国国家标准
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GBT31854 2015
光伏电池用硅材料中金属杂质含量的
电感耦合等离子体质谱测量方法
Testmethodformeasurin metallicim uritiescontentinsiliconmaterialsused
g p
for hotovoltaica licationsb inductivelcouled lasmamasssectrometr
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2015-07-03发布 2016-03-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发 布
中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会
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GBT31854 2015
前 言
本标准按照 / — 给出的规则起草。
GBT1.1 2009
。 。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任
( / ) ( /
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 SACTC203及材料分技术委员会 SACTC
/ )共同提出并归口。
203SC2
: 、 、
本标准起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心 中国电子技术标准化研究院 江苏中能硅
、 、 、
业科技发展有限公司 洛阳中硅高科技有限公司 国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心 天津市
环欧半导体材料技术有限公司。
: 、 、 、 、 、 、 、 、 、 。
本标准主要起草人 褚连青 王奕 徐静 王鑫 何秀坤 裴会川 冯亚彬 鲁文峰 余慧茹 张雪囡
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GBT31854 2015
光伏电池用硅材料中金属杂质含量的
电感耦合等离子体质谱测量方法
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