高功率全固态355+nm紫外脉冲激光器.pdf
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摘要
半导体二极管（LaserDiode，LD）泵浦的全固态激光器和传统的气体、液体激
光器相比，具有结构紧凑、体积小巧、光光转化效率高、光束质量好、输出功率稳定、
工作寿命长且能适应复杂环境等优点，已经被广泛应用于工业生产当中。尤其是，波
段处于355nm的紫外激光，因其具有单光子能量大、易聚焦等优点，且大多数材料
对其吸收较强，所以在激光打标、材料切割和钻孔等工业加工领域具有广泛应用。然
而，我国在紫外及深紫外激光器的研究起步相对较晚，目前市面上主要销售的也只是
输出功率为3W和
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