歩留向上(YieldEnhancement)活動報告.PDF

Non-visual defect Non-visual defect Contaminationへの挑戦 Contaminationへの挑戦 ・2009改定内容説明 ・2009改定内容説明 ・2009年度活動報告 ・2009年度活動報告 STRJ WG11 YE (Yield Enhancement) STRJ WG11 YE (Yield Enhancement) Work in Progress - Do not publish STRJ WS: March 5, 2010, WG11 YE 1 用語集 YMDB (Yield Model Defect Budget) 歩留りモデルと装置許容欠陥数 DDC (Defect Detection Characterization) 欠陥検出と特徴付け WECC (Wafer Environmental Contamination Control) ウェーハ環境汚染制御 YL (Yield Learning) 歩留り習熟 NVD (Non-Visual Defect) 見えない欠陥 NVF （Non-Visual Fault) 見えない不良 PWP (Particles per Wafer Pass) 工程での処理(Wafer Pass)により増加するパーティクルの事 ADC(Auto Defect Classification） 欠陥自動分類 DFM (Design for Manufacturing) 製造容易化設計 AMC : Airborne Molecular Contaminants 大気分子汚染 ILD : Inter Layer Dielectrics 層間絶縁膜 FOUP : Front Opening Unified Pod ウェーハ格納・搬送容器 TOC : Total Organic Carbon/Total Oxidizable Carbon 全有機体炭素 ICPMS : Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry誘導結合プラズマ質量分析装置 TOA : Total Organic Acids 総有機酸量 TOCS : Total Other Corrosive Species 他の総腐食性物質量 SMC : Surface Molecular condensable ウェーハ表面凝集性分子汚染 FMEA : Failure Mode and Effect Analysis 故障モード影響解析 Work in Progress - Do not publish STRJ WS: March 5, 2010, WG11 YE 2 WG11 メンバー表 氏名 会社名 ＹＥ役割分担案 白水好美 ＮＥＣエレクトロニクス リーダ･WECC 半導体メーカ 8 桑原純夫 ＮＥＣエレクトロニクス YE国際 YMDB アカデミア 1 嵯峨幸一郎 ソニー 委員･YE国際･WECC コンソーシアム 0 サプライヤ 8 永石　博 ルネサステクノロジ 委員 DDC 計 17 松本康彦 ローム 委員 WECC YMDB 1.5 橋爪貴彦 パナソニック 委員 DDC DDC 5 槌谷孝裕 富士通ﾏｲｸﾛｴﾚｸ