GB/T 3163-2007真空技术　术语.pdf

犐犆犛２３．１６０ 犑７８ 中华人 民共和 国国家 标准 ／ — 犌犅犜３１６３ ２００７ 代替 ／ — ＧＢＴ３１６３ １９９３ 真空技术 术语 　 — 犞犪犮狌狌犿狋犲犮犺狀狅犾狅 犜犲狉犿犻狀狅犾狅 犵狔 犵狔 （ ： — ， ） ＩＳａｃｕｕｍｔｅｃｈｎｏｌｏ Ｖｏｃａｂｕｌａｒ ＭＯＤ ｇｙ ｙ ２００７１２０２发布 ２００８０６０１实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 ／ — 犌犅犜３１６３ ２００７ 目 次 　　 前言 Ⅲ １ 范围 １ 　 ２ 一般术语 １ 　 ３ 真空泵及有关术语 ６ 　 ４ 真空计 １３ 　 ５ 真空系统及有关术语 １９ 　 ６ 检漏及有关术语 ２５ 　 ７ 真空镀膜技术 ２７ 　 ８ 真空干燥和冷冻干燥 ３２ 　 ９ 表面分析技术