物理气相沉积技术制备的氧化锌薄膜材料性能提升研究资料集.docx
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物理气相沉积技术制备的氧化锌薄膜材料性能提升研究资料集
目录
一、物理气相沉积技术制备的氧化锌薄膜材料性能提升研究项目申报书
二、物理气相沉积技术制备的氧化锌薄膜材料性能提升研究立项申请书
三、物理气相沉积技术制备的氧化锌薄膜材料性能提升研究阶段性成果报告
四、物理气相沉积技术制备的氧化锌薄膜材料性能提升研究最终成果报告
物理气相沉积技术制备的氧化锌薄膜材料性能提升研究项目申报书
一、项目基本信息
项目名称：物理气相沉积技术制备的氧化锌薄膜材料性能提升研究
项目负责人：[项目负责人姓名]
项目所属单位：[项目负责人所属单位]
项目起止时间：[项目起始时间]至[项目结束时间]
项目经费预算：[项
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