文档详情

丝网印刷常见问题及解决方法.xls

发布:2015-09-19约字共2页下载文档
文本预览下载声明
丝网常识 3号机Ag浆 2号机Al浆 1号机Ag Al浆 故障现象 丝网间距太小 加大丝网间距 调大snap-off绝对值 印刷刮条不平 检查刮条的平整度 可放在玻璃门上检查平整度 硅片有厚薄不均 检查来料 网板张力太小 更换网板 更换网板前后测量网板张力 丝网刮不干净 增大刮条下降深度(调大Down-stop绝对值 )和印刷压力 ( Pressure ) 不建议增大印刷压力 硅片吸附不住 印刷衬纸太脏 更换干净的衬纸 单一台面出现粘板时 该可能性较大 台面太脏 用干净的酒精无尘布擦拭台面 真空吸力太小 调大真空吸力 浆料粘稠度太大 搅拌时间太长 减少搅拌时间 网板内浆料不要加的太多,及时擦干净刮浆板 浆料在网板内停留时间过长 经常用刮浆板刮浆料 加完浆料未及时盖上盖子,导致有机溶剂挥发 加完浆料后及时盖上盖子 漏浆 轻微漏浆 用干净的无尘布擦拭网板 网板破 粘板 造成原因 解决方法 备注 印刷偏移 更换衬纸 X/Y/Z轴或角度发生偏移 调整X/Y/Z轴使得网板印刷图形与硅片四边完全对称。 漏浆 网板微破且不影响图形 用薄胶带粘住漏浆部位 网板破坏严重无法用胶带粘住 更换网板 隐裂 台面上有碎屑 清理碎屑或重新更换衬纸 网板上沾有碎屑 用干净的无尘布擦拭网板 压力偏大 降低压力 实际压力比设定压力大出很多 刮刀高度上升 换纸后有不平 重新更换衬纸 虚印 印刷参数不适宜 抬高丝网间距,适当加大压力 刮条不平 更换刮条 网板使用时间太长 观察刮条刮拭的网板是否干净,加浆料时采取少加多次的方式进行加浆料 印刷不良 网板及刮条高度太高 降低网板及刮条高度或降低电机高度 Ag/Al偏重 Ag/Al偏轻 减小snap-off;减小down-stop;增大pressure;减小speed 增大snap-off;增大down-stop;减小pressure;增大speed 改变snap-off的效果最明显,但需注意snap-off值改变过大会出现印刷不良 翘曲 铝浆重量偏重 2号机烘箱后两区温度太低 升高后两区烘箱温度 温度变化最好不超过10度 铝苞 印刷的浆料有点薄 减小压力,丝网间距拉大,刮刀高度上升 刮条破损 网板有破损、折痕 划痕 网板上有碎片 擦拭网板 Ag浆偏重 Ag浆偏轻 网板高度太高 栅线变细 降低snap-off,适当减小压力 栅线变粗 网板高度太低 升高snap-off,适当增加压力 网孔堵塞 3号机 Ag浆 用干净的无尘布将网板擦拭干净 设备故障 电机复位 衬纸脏导致相机自动识别系统识别错误 更换新的网板后没有校准相机 从新校准相机 见上面(印刷偏移解决方法) Working Beam 上定位卡口处有浆料 机械手夹的太紧 工作台内温度低 关闭窗或通知外围对室内温度进行调整 新网板网孔没张开 用酒精布擦拭 断栅 网板过度使用 更换新的网板 用干净的酒精布擦拭后再用 衬纸脏了及时更换  称重要保证及时.准确.真实. 工作时工作台门窗要关闭 保持清洁 加完浆料后 及时清理台面.烘箱.和Working Beam上的灰尘和碎片并保持 及时把浆料盖盖上.减少有机物的挥发 在更换网板,收取网板内原来使用的浆料时发现内有碎片应把浆料另行处理 当前道印刷设备出故障停止时,第一道上料停,烘箱里的硅片应继续运行到Buffer里存放 印刷模糊 台面不平 wafer厚度不均匀 检查来料 更换衬纸或调整台面 用干净的酒精布擦拭干净 检查机械手加紧状况 单一台面出现粘板时该可能性较大 Al浆偏重 2号机 Al浆 Al浆偏轻 新网板要观察是否有质量问题,然后用干净的酒精布擦拭后再用 浆料搅拌时间要遵守作业指导书 刮浆板刮完浆料后要擦拭干净后放回挂钩上 假片要使用未经印刷过的缺角片,不可印刷假片 故障 现象 印刷 偏移 1号机Ag/Al浆 减小snap-off;减小down-stop;增大pressure;减小speed 增大刮条下降深度和印刷压力
显示全部
相似文档