半导体设备项目可行性研究报告 .pdf
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半导体设备项目可行性研究报
告
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目录
序言5
一、土建工程方案.5
(一)、建筑工程设计原则5
(二)、半导体设备项目总平面设计要求6
(三)、土建工程设计年限及安全等级7
(四)、建筑工程设计总体要求8
(五)、土建工程建设指标10
二、技术方案.11
(一)、企业技术研发分析11
(二)、半导体设备项目技术工艺分析13
(三)、半导体设备项目技术流程14
(四)、设备选型方案15
三、制度建设与员工手册.17
(一)、公司制度体系规划17
(二)、员工手册编制与更新18
(三)、制度宣导与培训20
(四)、制度执行与监督22
(五)、制度评估与改进23
四、半导体设备项目可行性研究报告.24
(一)、产品规划24
(二)、建设规模26
五、半导体设备项目选址说明.28
(一)、半导体设备项目选址原则
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