IGZO薄膜晶体管专利技术现状.docx

IGZO薄膜晶体管专利技术现状

目录

IGZO薄膜晶体管专利技术现状（1）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2研究目的与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

IGZO薄膜晶体管概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.1定义与特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.2IGZO薄膜晶体管的发展历程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

专利技术现状分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

3.1国内外专利总体情况．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.2关键技术与专利分布．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.3专利申请趋势分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

主要专利技术分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

4.1制造工艺与设备相关专利．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.2材料与掺杂技术相关专利．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

4.3器件结构与性能优化相关专利．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

4.4可靠性技术与寿命相关专利．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

专利竞争格局分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

5.1主要专利申请人与分布．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

5.2专利竞争态势分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

5.3潜在竞争对手分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

IGZO薄膜晶体管专利技术的挑战与机遇．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

6.1技术挑战分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

6.2发展趋势与机遇．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

6.3专利布局与策略建议．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

7.1研究结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

7.2展望与未来研究方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

IGZO薄膜晶体管专利技术现状（2）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

IGZO薄膜晶体管专利技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

1.1IGZO薄膜晶体管技术背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

1.2IGZO薄膜晶体管技术优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

1.3IGZO薄膜晶体管应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

IGZO薄膜晶体管专利技术发展历程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

2.1早期研究与发展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

2.2技术突破与专利申请．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

2.3技术成熟与应用推广．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

IGZO薄膜晶体管专利技术分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

3.1材料制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

3.1.1溶液法．．．．．．．．．．．．．．