光伏电池制备工艺项目三扩散.ppt

太阳电池磷扩散方法;二、扩散;*;扩散气氛场结构示意图;常用扩散的液态源——三氯氧磷（POCl3） ;POCl3磷扩散原理; 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下： 由此可见，在磷扩散时，为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气 。;一、工艺、质量要求;二、原材料和器件;扩散炉、 超净台、 石英真空吸笔、 石英舟、 舟叉 石英舟托 四探针测试仪;三、扩散工艺;1、准备工作;（2）更换源瓶（一般60-70批次换源）; 3）把进气、出气阀拧紧，源瓶小心放回包装箱，搬到扩散间准备装源。 4）把源瓶放入恒温槽（一般20℃左右），水位离源瓶顶部1CM左右水位，确定装源瓶时不能带入纸屑等杂物（包括贴在源瓶上的标签），以防把恒温槽循环泵的进出水口堵塞，把进气管和出气管接好。 5）先在PLC控制面板上把小氮出气的电磁阀打开，把源瓶出气阀慢慢的拧开，目的释放瓶内压力。 6）然后在PLC控制面板上把小氮进气的电磁阀打开，设定小氮流量（500）。 7）把源瓶进气阀慢慢的拧开，不用眼睛看，手可以感觉到冒泡引起的震动（注意换源时重点保护的是眼睛），慢慢拧到全开。 8）把电源柜门关上。; 9）看PLC上实际流量是否达到设定值，如果一致，再设定小氮流量，增大到扩散时小氮流量值的一半，流量稳定且达到设定值后，再隔着玻璃看源瓶是否漏源（注意未稳定前不能直接看源瓶是否漏源，以免流量增大时可能导致的喷源，造成人员伤害）。 10）实际流量和设定值一致后，把流量设定为扩散时的流量，再隔着玻璃看源瓶是否漏源。 11）如果实际流量和设定值一致，把小氮设为零，在PLC控制面板上关小氮进气电磁阀，关小氮出气电磁阀。 12）把大氮电磁阀打开，大氮设为25000。 13）检查恒温槽中纯水量是否达到恒温槽容积的2/3。; 3 开机 打开扩散炉设备电源，启动扩散控制程序，缓慢升温。在手动操作下，检查设备正常情况下是否正常运转，设备正常时悬臂浆处于原点，正在等待装满的石英舟正??运行状态。 4 石英管进源 1）安装好石英管和碳化硅桨后，把清洗后的石英舟放在桨上，送入炉管。 2） 先在150℃ 条件下保温4小时，然后在400℃条件下保温2小时。 3） 最后让程序空走2次（通源，不放硅片）。;5、装片; 3）把一个批次硅片装入一个石英舟内（一般一个石英舟能装100片硅片），并排放整齐，等待装舟。 4）两手抬起舟叉，同时确保舟叉上翘30度，把石英舟小心地放上碳化硅桨上面的石英舟托上 。 5）戴好防护用品，检查源瓶液位。;6、扩散;（2）扩散炉中的程序 ;7 取舟;8 取片;9、测方块电阻（方阻测试员） 取炉口、炉中、炉尾各两片（或每舟取5片，同一批次取10片），测其硅片发暗面的四个角及中间的方阻并将数值记录在电脑上。 注意：不合格的扩散片，需及时隔离，返回清洗，统一返工。 ; 10 扩散炉保温和关机;注意事项;任务三 石英管的拆装与清洗;;炉尾; 1 石英管的拆装流程;;;石英管清洗机;控制面板由开关.电源按钮.急停和操作面板组成。开机时先开总电源，再按电源开关。关机时先按电源开关，再关总电源。遇到紧急情况时按急停按钮，记住复位。;石英管清洗机控制面板操作方法;2 石英管清洗; 石英管清洗;3. 安装石英管;;1. 方阻;金属导体的电阻公式 R=ρl /s，与之类似， 薄层电阻的大小为： R口=ρl / at，如右图： 当l=a即为一个方块时：　 R口=ρ/t 这样，方阻仅与导电膜的厚度、电阻率等因素有关。 ;利用方阻监控扩散;方阻的测试法;铜棒法测方阻; 铜棒法测方阻的优点：; 这就是我们常用的四探针针头，它由钨钢制造，四探头部得距离相等，分别连接着设备内部的四个接口。 其中1针和4针测试时通过电流。2针和3针测试时通过电压。 因为方阻越大，产生的电势也越大，数值输入进设备后经过计算，由显示屏显示出来。 ;1. 调整测试电流： 使“R□”、“I”、“EXCH. 1”显示灯亮，将电流档位0.1mA调至10mA，将待测量的硅片取出放在测试台上（扩散面向上），按下降按钮，使针头平压在硅片上（四针平齐），校准电流，调整