《光伏电池工艺设备 低压扩散设备技术规范》.pdf
ICS29.020
CCSL95
团体标准
T/YGAZXHXXXX—XXXX
光伏电池工艺设备低压扩散设备
技术规范
Photovoltaiccellprocessequipment—Technicalspecificationforlowpressure
diffusionequipmentt
（征求意见稿）
2025-03-19
（本草案完成时间：）
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XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会发布
T/YGAZXHXXXX—XXXX
目次
前言II
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4缩略语1
5工作环境及条件1
6技术要求2
6.1外观及结构2
6.2整机性能2
6.3工艺性能4
6.4自动化4
6.5安全5
7试验方法5
7.1外观及结构5
7.2整机性能6
7.3工艺性能8
7.4自动化10
7.5安全11
8检验规则11
8.1检验分类11
8.2出厂检验11
8.3型式检验12
9标志、包装、运输和贮存12
9.1标志12
9.2包装12
9.3运输13
9.4贮存13
I
T/YGAZXHXXXX—XXXX
光伏电池工艺设备低压扩散设备
技术规范
1范围
本文件给出了低压扩散设备（以下简称“设备”）的工作环境及条件，规定了低压扩散设备的技术
要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于制造光伏电池的低压硼扩散设备的生产与检验。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
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