MEMS惯性组件温度特性与建模讲解.ppt
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于婷，徐爱功，孙伟，闫慧芳;;研究背景;标定注意事项;标定注意事项;温度标定补偿模型建立;温度标定补偿模型建立;温度标定补偿模型建立;温度标定补偿模型建立;实验测试平台;(1) 三轴测试转台;(2) 高低温控环境温控试验箱;(2) 高低温控环境温控试验箱;5;谢
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MEMS扭转微镜静态特性的温度效应分析_叶坤涛.pdf
收稿日期：2012-12-20
基金项目
:
国家人社部
2011
年高层次留学人才回国资助；江西省教育厅科技项目
(GJJ11468)
作者简介：
叶坤涛（
1972-
），男，博士，副教授，主要从事
MEMS
、光谱测量与仪器等方面研究，
E-mail
：
mems_123@126.com.
文章编号：2095-3041（2014）00-0083-07 DOI：10.13265/ki.jxlgdxxb.2014.01.014
M E M S 扭转微镜静态特性的温度效应分析
叶坤涛， 罗 伟
(
江西理工大学理学院，江西 赣州
341000)
摘 要：文章从静电力驱动的扭转微镜的静态特性静力
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《低成本MEMS惯性测量组件复合标定与误差补偿方法研究》.docx
《低成本MEMS惯性测量组件复合标定与误差补偿方法研究》
一、引言
随着科技的不断进步，MEMS（微机电系统）技术已成为许多领域中的关键技术之一。而其中的MEMS惯性测量组件，以其低功耗、低成本和高集成的优势，被广泛应用于车辆控制、无人飞行器、移动设备等。然而，由于硬件的限制，这些MEMS组件在实际使用中存在多种误差来源，导致测量结果不够准确。因此，如何进行低成本且高效的复合标定与误差补偿方法的研究，对于提高MEMS惯性测量组件的精度具有重要意义。
二、MEMS惯性测量组件概述
MEMS惯性测量组件主要包括加速度计和陀螺仪两部分，能够同时测量三维空间中的加速度和角速度。由于其尺寸小、重量轻、功
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锅炉内胆温度特性测试与建模.docx
第1章绪论
1.1目的与意义
锅炉在社会的发展进程中尤为重要，最早的锅炉是公元前200左右，古希腊的希罗发明了最初的锅炉，其结构极为简单；到十八世纪中期的工业革命开始，瓦特发明了蒸汽机，使得锅炉大量应用于工业生产；工业革命之后到至今，锅炉不断从燃烧效率、控制精度、节能减排等方面有很大的进步。锅炉概括来说就是一种转换能量的装置，向锅炉内放入燃料，经燃烧反应后，把燃料中的能量转换为在工业生产中和人们日常生活中所需要的各种能量。
对一般加热锅炉来说，常用不可再生能源如煤炭加热水，这种加热方式首先热效率不高，其次是污染环境，再一个就是不可再生煤炭没有得到有效利用。在随着科学技术的发展，锅炉的作用
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惯性器件及特性.pdf
组合导航系统
惯性器件及特性
一惯性器件的作用
二陀螺仪原理及特性
三加速度计原理及特性
一.惯性器件的作用
线运动
运载体在三维
空间中的运动
角运动
所有的惯性导航系统都要解决两个问题：
Ø利用陀螺仪建立导航坐标系基准
Ø对加速度计的输出进行积分，获取速度和位置
一.惯性器件的作用
角
运
动
位置
信
陀螺仪
息
显
示
导航
速度
计算机器
线
运
加速度计动
信
姿态
息
陀螺仪和加速度计是惯性导航系统的核心元器件。
一.惯性器件的作用
“惯性”的含义：陀螺仪和加速度计的输出是相对惯性空间的测量值。
Ø陀螺仪：敏感角运动的一种测量装置。
在平台惯导中，陀螺仪安装在平台上，用来敏感平台
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惯性MEMS技术苏岩珍贵专业资料.pdf
惯性MEMS技术
现状发展动力
苏岩
MEMS惯性技术研究中心
• MEMS作为一个新兴的技术领域，有可能象
当年的微电子技术一样，成为一门重大的产业。
但瑞在它还处在初级阶段，因而我国在这一领域，
机遇和挑战并存。从研究开发的情况来看，我国
在该领域的技术水平与世界先进水平的差距并不
太大，某些方面甚至已达到先进水平。但是，我
国在MEMS技术的产业化方面，却远远落后于世
界先进水平。
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惯性测量组件、飞控惯性测量组件及飞行器.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112985395 B
(45)授权公告日 2021.08.24
(21)申请号 202110517131.7 (56)对比文件
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MEMS应用讲解.ppt
MEMS的应用;6.1 MEMS的应用;武器制导和个人导航芯片上的惯性导航组合
超小型、超低功率无线通信（RF MEMS）的机电信号处理
军备跟踪、环境监控、安全勘测的无人值导分布式传感器系统
小型分析仪器、推进和燃烧控制的集成微流量系统
武器安全、保险和引信
有条件保养的嵌入式传感器和执行器
高密度、低功耗的大规模数据存储器件
敌友识别系统、显示和光纤开关的集成微光学机械器件
飞机分布式空气动力学控制和自适应光学的主动、共形表面;MEMS系统的代表——微型无人驾驶飞机;MEMS系统的代表——微型无人驾驶飞机;分布式战场微型传感器网络
探测人员、车辆运动信息，查明敌人军队部署调动
布撒、收集信
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MEMS作业知识讲解.pdf
精品文档
MEMS作业
1.叙述湿法腐蚀技术的主要工艺流程。
湿法刻蚀：利用合适的化学试剂先将未被光刻胶覆盖的晶体部分氧化分解，
然后通过化学反应使一种或多种氧化物或络合物溶解来达到去除目的，包括
化学腐蚀和电化学腐蚀。
2.叙述干法腐蚀技术的主要工艺流程。
干法刻蚀：利用辉光的方法产生带电离子以及具有高度化学活性的中性原子
与自由基，用这些粒子和晶片进行反应达到光刻图形转移到晶片上的技术。
包括离子溅射刻蚀，等离子反应刻蚀等。
3.叙述体硅和表面硅加工技术的机理与特点，各适用于什么场合？
体硅加工工艺是指对硅衬底片进行加工，获得由衬底材料构成的有用部件的
技术。体硅加工方法：湿法刻蚀、干法刻
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惯性的ppt讲解.ppt
惯性;牛顿第一定律的研究对象、成立的条件、结论是什么？
牛顿第一定律能用实验直接验证吗？定律告诉我们什么？;如果柯受良腾空飞出后所受到的一切外力都突然消失,他的车将会怎样运动呢?;;;小组讨论说出所选实验器材、研究对象和观察到的现象;;惯性的例子在生活中很常见.例如:;把一个木块直立在小车上，让小车突然启动，观察思考：
现象：小车上的木块向____倒去
分析思考：木块初始状态是_______，当小车突然运动时，木块由于_____要保持原来的____状态，所以要向____倒。
如果让小车突然急刹车，观察思考：
现象：小车上的木块向____倒去 ;如何解释现象;; ;回答：1
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全光纤电流互感器温度特性：精准建模与优化策略.docx
全光纤电流互感器温度特性：精准建模与优化策略
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代电力系统中，电流互感器作为一种关键设备，承担着将大电流转换为小电流以便测量、保护和控制的重要任务。传统的电磁式电流互感器基于电磁感应原理工作，虽技术成熟，但存在诸多固有缺陷，如体积庞大、重量较重，在高电压等级下绝缘结构复杂且成本高昂，还易受电磁干扰影响，可能出现磁饱和与铁磁谐振等问题，严重制约了其在一些新型电力系统场景中的应用。
随着电力系统向高电压、大容量、智能化方向的快速发展，对电流互感器的性能提出了更为严苛的要求。全光纤电流互感器应运而生，它是一种基于法拉第磁光效应的新型电子式电流互感器。全光纤电流互感
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MEMS惯性导航模块行业相关公司筹备报告.docx
MEMS惯性导航模块行业相关公司筹备报告
第PAGE1页
TOC\o1-3\h\z\uMEMS惯性导航模块行业相关公司筹备报告 2
一、引言 2
报告背景介绍 2
行业现状及发展趋势概述 3
二、MEMS惯性导航模块行业市场分析 5
市场规模及增长趋势分析 5
市场需求分析 6
行业竞争格局及主要竞争者分析 7
市场机遇与挑战分析 9
三、相关公司现状分析 10
公司基本情况介绍 10
公司组织架构及管理体系介绍 12
公司业务发展现状及产品介绍 13
公司财务状况分析 15
四、公司筹备计划 16
筹备目标设定 16
筹备工作计划与时间安排 18
资源配置及优化方案 19
关键步骤和任务的实
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MEMS惯性导航模块行业可行性分析报告.docx
MEMS惯性导航模块行业可行性分析报告
第PAGE1页
TOC\o1-3\h\z\uMEMS惯性导航模块行业可行性分析报告 2
一、引言 2
报告的背景和目的 2
MEMS惯性导航模块行业简述 3
二、MEMS惯性导航模块行业市场分析 5
市场规模及增长趋势 5
市场结构分析 6
市场竞争格局 8
市场机遇与挑战 9
三、MEMS惯性导航模块技术发展现状与趋势 10
技术发展现状及主要应用 10
技术进步趋势 12
技术瓶颈及解决方案 13
四、主要厂商竞争格局分析 15
主要厂商介绍及市场份额 15
产品竞争力分析 17
厂商战略布局及发展方向 18
五、政策环境及产业链分析 20
相关政策
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超高精度MEMS惯性导航系统研究 .pdf
超高精度MEMS惯性导航系统研究
随着科技的发展和应用的深入，惯性导航系统在多个领域得以广泛应用，如军
事、民用航天、航空、海洋测绘、智能车辆等。其中，MEMS惯性导航系统因为
其小型化、集成化、低功耗、高精度等优点，成为了近年来重要的研究方向和应用
领域。
一.MEMS惯性导航系统及其重要性
MEMS惯性导航系统是一种利用微机电系统（MEMS）芯片实现导航、定位和
姿态控制的技术，其使用惯性传感器来检测物体的运动状态，以实现导航和航迹测
量。该系统由加速度计和陀螺仪组成，具有较高的稳定性和精度，能够满足在复杂
环境下的导航需求。
MEMS惯性导航系统在飞行器、导弹、舰船、无人机等多个领域得到
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CMOS-MEMS集成惯性传感器研究的开题报告.docx
CMOS-MEMS集成惯性传感器研究的开题报告
题目：CMOS-MEMS集成惯性传感器研究
一、研究背景及意义
随着科技的不断发展，智能化设备的需求越来越多，而惯性传感器作为一种重要的技术手段，在智能化设备中的应用也越来越广泛。传统的惯性传感器采用厚膜加工工艺制作，存在成本高、体积大、精度低等缺点。而CMOS-MEMS集成惯性传感器则是一种新型的传感器，其采用传统的CMOS工艺与MEMS制造技术相结合，具有成本低、体积小、精度高等优点。因此，研究CMOS-MEMS集成惯性传感器具有重要的科学意义和应用价值。
二、研究内容及方法
本研究将针对CMOS-MEMS集成惯性传感器进行深入的研究，重点研
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基于MEMS器件的微惯性测量系统研究的开题报告.docx
基于MEMS器件的微惯性测量系统研究的开题报告
一、选题背景
随着现代社会技术的发展，微惯性测量系统（Micro-Electro-MechanicalSystemsInertialMeasurementUnit，MEMS-IMU）在惯性测量领域得到了越来越广泛的应用。惯性导航和惯性测量在航空、航天、水下探测、无人机等领域中起着至关重要的作用。MEMS-IMU具有小型化、低功耗、低成本、高度集成化等特点，已经成为微小惯性传感器领域的重要发展方向，对于惯性导航与惯性测量技术的发展具有重要意义。
二、研究内容
本研究将以MEMS器件为基础，研究设计一种高精度、高稳定性的微惯性测量系统，实现精确的惯性