2025年超精密加工技术在半导体制造中的先进工艺应用报告.docx
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2025年超精密加工技术在半导体制造中的先进工艺应用报告模板范文
一、2025年超精密加工技术在半导体制造中的先进工艺应用报告
1.1技术背景
1.2超精密光刻技术
1.2.1新型光源的应用
1.2.2新型光刻工艺的开发
1.2.3光刻设备的改进
1.3超精密蚀刻技术
1.3.1新型蚀刻方法的应用
1.3.2蚀刻设备改进
1.3.3蚀刻工艺优化
1.4超精密清洗技术
1.4.1新型清洗剂的应用
1.4.2清洗设备的改进
1.4.3清洗工艺优化
1.5超精密抛光技术
1.5.1新型抛光材料的应用
1.5.2抛光设备的改进
1.5.3抛光工艺优化
二、超精密加工技
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