大尺寸单晶金刚石衬底抛光技术的研究进展及趋势分析.docx
大尺寸单晶金刚石衬底抛光技术的研究进展及趋势分析
目录
大尺寸单晶金刚石衬底抛光技术的研究进展及趋势分析（1）．．．．．．3
一、内容简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
二、大尺寸单晶金刚石衬底概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
单晶金刚石特点及优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
大尺寸单晶金刚石衬底应用现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
抛光技术的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
三、大尺寸单晶金刚石衬底抛光技术进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
机械抛光技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
（1）传统机械抛光方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
（2）新型机械抛光方法及工艺研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
（3）机械抛光技术的优缺点分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
化学机械抛光技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
（1）CMP技术原理及流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
（2）CMP技术在单晶金刚石衬底中的应用进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
（3）CMP技术的优化与改进方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
四、大尺寸单晶金刚石衬底抛光技术的现状评估与对比分析．．．．．．27
不同抛光技术的比较与选择依据．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
（1）技术成熟度分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
（2）抛光效果对比分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
（3）工艺成本评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
当前存在的主要问题与挑战分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
五、大尺寸单晶金刚石衬底抛光技术发展趋势分析预测与前景展望
大尺寸单晶金刚石衬底抛光技术的研究进展及趋势分析（2）．．．．．37
内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
1.2国内外研究现状及存在的问题．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
大尺寸单晶金刚石衬底概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
2.1单晶金刚石特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
2.2大尺寸单晶金刚石衬底制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
2.3衬底应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
抛光技术原理及分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
3.1抛光技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
3.2机械抛光．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
3.3化学机械抛光．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52
3.4等离子抛光．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
大尺寸单晶金刚石衬底抛光技术研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
4.1抛光工艺优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56
4.2抛光材料研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57
4.3抛光质量评估标准．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58
抛光技术在大尺寸单晶金刚石衬底应用中的挑战与解决方案．．．60
5.1抛光过程中的难点与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61
5.2