KEYENCE基恩士VK-X 系列 形状测量激光显微系统 应用指南.pdf

入mm三

基轧十

形状测量激光显微系统

VK-X系列

应用指南

量化特性分析

使用VK-X的自动测量功能可以自动检测峰谷问的高度和宽度，避免测量中存在用户主观判断。

Profilel

Ave.4.02um

Std.DV1.44um

135sigma4.32um

根据针对高度或反射激光强度轮廓图所设定的阔值-,

检测测量结果。12.00

10.00

8.00

6.00

468oo005.0010.0015.0020.0025.003000。曙52

使用VK-X可快速将形状数值

化。自动计算面积、周长、最小

直径、最大直径及其他各种测

量。

ProfilelAngle

Seg.1in本

82.08。oa

7.20um天

所

88

使用出色的16位PMT，即使

样本的侧壁陡峭到于涉仪都无

法捕获，VK-X也能获得有关

样本的精确数据。

AreaMax.dia

98.000.100.000.103.730|

28353.000|106.000;102.000108.227|

高纵横比

即使是触笔尖端轮廊仪堵塞或无法触及的高纵横比零件，也可以使用VK-X激光显微系统进行充分分析。

um

26.2901

20.0000