半导体制造领域超精密加工技术应用与产业创新驱动策略报告.docx
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半导体制造领域超精密加工技术应用与产业创新驱动策略报告
一、：半导体制造领域超精密加工技术应用与产业创新驱动策略报告
1.1报告背景
1.2技术发展趋势
1.2.1高精度、高效率、低成本、绿色环保
1.2.2新型超精密加工方法
1.2.3集成化、智能化、网络化
1.3产业创新驱动策略
1.3.1加强基础研究
1.3.2推动产学研合作
1.3.3完善产业配套体系
1.3.4加强人才培养
1.3.5优化政策环境
1.4总结
二、超精密加工技术在半导体制造领域的应用现状与挑战
2.1技术应用现状
2.1.1晶圆切割技术
2.1.2光刻技术
2.1.3蚀刻技术
2.1.
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