超精密加工技术引领2025年半导体制造产业升级趋势报告.docx
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超精密加工技术引领2025年半导体制造产业升级趋势报告范文参考
一、超精密加工技术概述
1.1超精密加工技术的定义与特点
1.2超精密加工技术在我国的发展现状
1.2.1超精密加工设备
1.2.2超精密加工工艺
1.2.3超精密加工材料
1.3超精密加工技术在半导体制造产业中的应用
1.3.1芯片制造
1.3.2光电子器件制造
1.3.3高端装备制造
二、超精密加工技术在半导体制造中的应用现状及挑战
2.1超精密加工技术在芯片制造中的应用现状
2.1.1光刻设备的关键部件加工
2.1.2封装基板和引线框架的制造
2.2超精密加工技术在光电子器件制造中的应用现状
2.2
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