超精密加工技术在半导体制造中的国产化进程报告.docx
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超精密加工技术在半导体制造中的国产化进程报告范文参考
一、超精密加工技术在半导体制造中的国产化进程报告
1.1技术背景
1.2国产化进程
1.2.1政策支持
1.2.2企业投入
1.2.3产业链协同
1.3应用领域
1.3.1光刻技术
1.3.2刻蚀技术
1.3.3封装技术
1.4存在的问题与挑战
二、超精密加工技术的研究与发展
2.1研究现状
2.1.1精密加工理论
2.1.2精密加工工艺
2.1.3精密加工设备
2.2技术创新
2.2.1纳米级加工技术
2.2.2智能加工技术
2.2.3绿色环保加工技术
2.3存在的问题与挑战
2.4发展趋势
三、超
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