硬质合金硬质涂层厚度的测定X射线荧光光谱法编制说明.pdf
硬质合金硬质涂层厚度的测定X射线荧光光谱
法
编
制
说
明
(预审稿)
2025年5月
一、工作简况
1、任务来源
1.1计划批复
根据《工信和信息化部办公厅关于印发2024年第四批行业标准修订计划的通知》(工信厅科函〔2024〕352号)
文件要求,由赣州澳克泰工具技术有限公司负责牵头制定《硬质合金硬质涂层厚度的测定X射线荧光光谱法》有
色行业标准,项目计划编号2024-1230T-YS,计划完成年限为2025年。
1.2项目情况
涂层硬质合金制品是指在已经烧结好的硬质合金制品表面涂覆一层或几层耐磨性高的硬质难熔化合物,这种涂
层制品将基体的强度与表层的高耐磨性巧妙地结合起来,从而成倍地提高了硬质合金制品的使用寿命。硬质合金制
品的涂层主要通过物理气相沉积PVD和化学气相沉积CVD方法制备,涂层材料种类主要有TiN、TiCN、Al2O3、
TiAlN、TiAlSiN、AlCrN、CrN、TiB2、DLC等。目前涂层硬质合金制品,其涂层厚度的测量方法主要按照GB/T
36591-2018《硬质合金制品的涂层金相检测方法》和JB/T07-1995《离子膜硬膜厚度试验方法球磨法》两种。
金相法和球磨法,首先都需要对涂层制品进行破坏,一方面使得检测周期相对较长,特别是金相法需要切割、镶样、
磨抛,至少需要几个小时才能完成;另一方面对于价值高的制品,检测成本也较高;其次,涂层硬质合金制品,尤
其是刀具制品,其各部位的涂层厚度是不一样的,由于刀具的刃部较锋利,使得涂层在此处具有尖端堆积效应,造
成刃部的涂层厚度相比其他平坦部位要更高,刃部作为刀具主要功能部位,测量刃部附近的涂层厚度更具有意义,
但球磨法只能对平面进行测试,无法对刃部附近的涂层厚度进行测量,而金相法在理论上可以对刃部附近的涂层厚
度进行测试,但实际操作中对切割设备和人员操作的要求很高,很难实现以及复现。
随着X射线荧光测厚仪器分辨率越来越高,X光管稳定性越来越好,X射线荧光光谱法测量涂层厚度,具有速
度快、无损检测等优点。经过试验验证,采用X射线荧光光谱法对涂层硬质合金制品进行涂层厚度的测量,在极限
厚度范围内允许误差小于10%,已能够满足各硬质合