超精密加工技术在半导体制造中的创新与发展趋势报告.docx
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超精密加工技术在半导体制造中的创新与发展趋势报告模板
一、超精密加工技术在半导体制造中的创新与发展趋势
1.超精密加工技术在半导体制造中的重要性
1.1芯片制造
1.2光刻设备
1.3封装设备
1.4检测设备
1.5创新成果
1.5.1超精密加工设备研发
1.5.2超精密加工工艺创新
1.5.3超精密加工材料研究
1.6发展趋势
1.6.1智能化
1.6.2绿色化
1.6.3集成化
二、超精密加工技术在半导体制造中的关键技术
2.1超精密加工工艺
2.1.1超精密车削
2.1.2超精密磨削
2.1.3电火花加工
2.1.4激光加工
2.2超精密加工设备
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