半导体制造设备研发项目建议书（参考模板）.docx
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半导体制造设备研发项目
建议书
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目录TOC\o1-4\z\u
第一章项目概况 9
一、项目名称及相关信息 9
二、项目目标 9
三、工艺方案 10
四、建筑方案 12
五、投资及资金筹措方案 13
六、经济效益 14
七、生产工艺可行性 15
八、建筑工程可行性 16
九、低碳节能可行性 18
第二章投资估算 20
一、项目投资估算思路 20
二、项目总投资 21
三、建设投资 22
四、工程费用 23
五、流动
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