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半导体行业2025年超精密加工技术在半导体制造中的微电子器件加工工艺创新报告.docx

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半导体行业2025年超精密加工技术在半导体制造中的微电子器件加工工艺创新报告模板范文

一、半导体行业2025年超精密加工技术在半导体制造中的微电子器件加工工艺创新报告

1.1超精密加工技术概述

1.2超精密加工技术在半导体制造中的应用

1.2.1晶圆加工

1.2.1.1晶圆切割

1.2.1.2晶圆抛光

1.2.1.3晶圆清洗

1.2.2芯片加工

1.2.2.1光刻

1.2.2.2蚀刻

1.2.2.3离子注入

1.2.3封装加工

1.2.3.1芯片贴片

1.2.3.2焊接

1.2.3.3封装测试

1.3超精密加工技术在微电子器件加工工艺中的创新

1.3.1新型加工

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