2025年集成电路先进制程工艺研发热点与关键技术趋势分析报告.docx
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2025年集成电路先进制程工艺研发热点与关键技术趋势分析报告模板范文
一、2025年集成电路先进制程工艺研发热点与关键技术趋势分析报告
1.1研发背景
1.2先进制程工艺的发展现状
1.3研发热点
1.3.1节点缩小
1.3.2高性能计算
1.3.3物联网（IoT）芯片
1.4关键技术趋势
1.4.1新型半导体材料
1.4.2三维集成电路（3DIC）
1.4.3纳米加工技术
1.4.4仿真与设计工具
二、先进制程工艺技术发展动态
2.1国际技术动态
2.2国内技术动态
2.3技术创新方向
三、先进制程工艺的关键技术分析
3.1光刻技术
3.2刻蚀技术
3.3
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