半导体制造2025年技术创新——超精密加工技术应用策略研究.docx
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半导体制造2025年技术创新——超精密加工技术应用策略研究范文参考
一、半导体制造2025年技术创新——超精密加工技术应用策略研究
1.1超精密加工技术背景
1.2超精密加工技术发展趋势
1.2.1高精度加工技术
1.2.2高效加工技术
1.2.3绿色环保加工技术
1.3超精密加工技术应用策略
1.3.1强化基础研究
1.3.2推动产学研合作
1.3.3加强人才培养
1.3.4完善政策支持
1.3.5拓展国际合作
二、超精密加工技术在半导体制造中的应用现状及挑战
2.1超精密加工技术在半导体制造中的应用现状
2.1.1材料加工领域
2.1.2结构加工领域
2.1.3
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