GSI Mercury II 6000系列光栅系统参数表.pdf

™

MercuryII6000系列系列

数字信号输出的高性能光栅测量系统,线性分辨率从

5μm到1.22nm,旋转分辨率：20k到268MCPR

同一读数头可配直线金属光栅尺，直线玻璃光栅尺，或圆形玻璃光栅尺

分辨率：

线性分辨率：5μm到1.22nm

旋转分辨率：20k到268MCPR

精度

金属光栅尺：±5μm/m

玻璃光栅尺：

直线:±1μm

标准±1.5μm到±5μm

圆形:最大±2.1arc-sec

输出

A-quad-B，指数脉冲，

双限位，和警报

光栅尺

同一读数头可用直线金属光栅尺，

直线玻璃光栅尺，或圆形玻璃光栅尺

新一代MercuryII6000光栅系统系列产品有同类产品领先的分辨率和精度，有数字信号输出，读数头体积最小，功能多，

性能稳定，智能编程，容易安装等特点，在性能上有很大突破。

MercuryII：新一代光栅系统

高分辨率数字信号输出

MicroESystems在光栅测量技术上追求不断的改革和创新,在上一代•能源消耗低；读数头发热量低

Mercury™光栅的基础上研发出比以往所有的光栅系统都更小巧，•光栅尺抗污性高

更快速，更智能化的全新一代高速高精度光栅系统。现在•最宽松的安装公差

MicroESystems的最新反射增量型光栅系列产品又向前迈进了一大步，

•连接器上的LED指示灯显示光栅系统的状态

为你带来同类产品最佳性能，功能齐全，稳定性强，使用极其方便。

而且一个单独的光栅系统可以实现全部性能。•可选择用于设置，编程，监测，

和诊断的软件