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激光刻蚀：解锁加速器真空室材料表面二次电子发射抑制的密码
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科技迅猛发展的时代，加速器作为一种能够利用电磁场加速带电粒子的关键设备，在科研和工业领域都占据着举足轻重的地位。在科研方面，大型强子对撞机（LHC）通过加速质子并使其相撞，让科学家得以模拟宇宙大爆炸后的极端条件，深入探索物质的基本结构，发现新的粒子和力，推动了粒子物理学的前沿发展。同步加速器辐射光源在物理学、化学、生物学等众多学科研究中，为科学家提供了高亮度、高准直性的同步辐射光，用于研究物质的微观结构和动力学性质。
在工业领域，加速器同样发挥着不可或缺的作用。在半导体工业中，加速器用于离子注入
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