基于单个微环谐振器Fano共振的折射率传感研究.pdf
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摘要
以硅材料为基础的硅基光子学器件具有易集成、结构紧凑和与微电子技术相
兼容等明显优势，在传感领域被广泛关注。硅基光学微环谐振器，作为集成光学
中的基本组件之一，具有结构紧凑、设计灵活、可阵列化、谐振性能优异等优点，
在传感领域备受青睐。但是，其对称的Lorentz谐振线型的线宽较宽，变化斜率
较小，使得传感器的可探测极限较高，不利于微量物质的探测。本文提出了基于
单个微环谐振器Fano共振的折射率传感方案，利用Fano共振线型的不对称且变
化斜率较大的特性，有利于降低传感器
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