激光干涉三维纳米位移测量技术研究.pdf
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摘要
随着科技的进步和工业的发展,对位移测量技术的精度和维度要求日益提高
特别是在微电子和半导体制造领域,对三维纳米位移测量的需求迫切。然而,现有
技术难以满足这种高精度、高维度的测量需求。因此,研究激光干涉三维位移测量
系统具有重大现实意义。激光干涉技术作为非接触式精密测量手段,具有高分辨率
和快速测量等优势,尤其在纳米级位移测量中表现突出。尽管一维和二维激光干涉
位移测量技术已成熟,但三维纳米位移测量研究仍有待进一步发展。因此,研究激
光干涉三维位移测量系统,探索其高精度、大量程的测量能力
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