电子工业用高纯氯化氢气体编制说明.pdf

一、工作简况

（一）任务来源

根据2020年全国标准化工作要点，大力推动实施标准化战略，

持续深化标准化工作改革，加强标准体系建设，提升引领高质量发展

的能力。依据《中华人民标准化法》，以及《团体标准管理规定》相

关规定，中国中小商业企业协会决定立项并联合浙江瑞亨电子材料有

限公司等相关单位共同制定《电子工业用高纯氯化氢气体》团体标准。

于2022年11月07日，中国中小商业企业协会发布了《电子工业用

高纯氯化氢气体》团体标准立项通知，正式立项。为响应市场需求，

需要制定完善的电子工业用高纯氯化氢气体，对产品进行管理，满足

市场质量提升需要。

（二）编制背景及目的

电子工业是制造电子设备、电子元件、电子器件及其专用原材料

的工业部门。主要生产电子计算机、电视机、收音机和通信、雷达、

广播、导航、电子控制、电子仪表等设备，生产电阻器、电容器、电

感器、印刷电路板，接插元件和电子管、晶体管、集成电路等器件，

以及高频磁性材料、高频绝缘材料、半导体材料等专用原材料。

从1916年开始生产电子管起，无线电工业经历了电子管、晶体

管、集成电路、大规模和超大规模集成电路阶段。从1946年第一台

电子计算机问世以来，计算机技术飞速进步，正在向巨型、微型、智

能化和网络化方向发展。电子工业产品进入国民经济和人民生活水平

的各个领域。知识、技术、资金密集；产品附加值高，经济效益好；

已突破制造业的范围，形成了软件、服务、信息等新兴产业；许多国

家都把电子工业的发展放在突出的位置，作为一个带头产业。

电子工业是国民经济支柱产业之一，也是新兴科学技术发展产业。

在《中华人民共和国国民经济和社会发展“九五”和2010年远景目

标纲要》中确定了中国电子工业的远景目标――重点发展集成电路、

新型元器件，计算机和通信设备。

电子工业产品的高新技术不断地发展，促使电子产品生命周期正

在进一步缩短，加速了电子产品的更新换代。有的电子产品制造商以

适应新的发展思路，将分散的设计、开发、制造、装配进行革新和整

合，使电子产品更趋向于使用标准的零部件组合产品，向以较低的价

格提供更多不同的产品。

氯化氢，是一种无色非可燃性气体，有极刺激气味，比重大于空

气，遇潮湿的空气产生白雾，极易溶于水，生成盐酸。随着微电子工

业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展，对

广泛用于单晶硅气相抛光和外延机座腐蚀的电子级氯化氢也有了新

的要求。除了应具有99.999%以上的纯度，还要求氯化氢的THC、H2O

和金属离子等有机杂质的含量越低越好。

电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀，清

除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理，激光用混合气、

胶片生产及碳纤维表面处理。过去我国大多从美、日等国进口电子级

氯化氢，但近年来，我国电子工业所需的化学气体的研制，在技术上

已有不少突破和发展。

电子级氯化氢在我们生活的各个领域中具有广泛的应用前景，它

不仅是电子工业中制造大规模集成电路所需的重要材料之一，而且应

用于医药、化工、半导体行业，因此需求量越来越大。目前已有研究

人在研究制备过程中成功合成了电子级氯化氢，同时从这些合成方法

中发现解析法和盐酸脱析法制备氯化氢工艺简单课大规模生产，但是

制备的氯化氢纯度偏低，越来越不满足电子工业，尤其是集成电路的

要求。合成法生产氯化氢的纯度偏高，但其中水量高，腐蚀严重，对

设备要求高，生产成本高。考虑到环保以及工业副产品回收利用等多

方面因素，制备高纯度氯化氢的合成是必然的发展趋势。

（三）编制过程

1、项目立项阶段

我国现有电子工业用氯化氢标准GB/T14602-2014《电子工业用

气体氯化氢》，其杂质含量较高，现有浙江瑞亨电子材料有限公司申

生产的省级工业新产品高纯电子级氯化氢，其杂质含量对比GB/T

14602-2014有显著降低。因此，浙江瑞亨电子材料有限公司向中国

中小商业企业协会提出《电子工业用高纯氯化氢气体》团体标准立项。

2、理论研究阶段

标准起草组成立伊始就电子工业用高纯氯化氢气体产品进行了

深入的调查研究，同时广泛搜集相关标准和国外技术资料，进行了大

量的研究分析、资料查证工作，确定了标准的制定原则，结合现有产

品实际应用经验，为标准的起草奠定了基础。

标准起草组进一步研究了电子工业用高纯氯化氢气体的主要功

能特点和技术性能管控指标，明确了要求和指标，为标准的具体起草

指明方