基于飞秒激光技术的DFB半导体激光器光栅制备及技术研究.pdf
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摘要
分布式反馈半导体激光器因具有高稳定性、窄线宽、波长可调谐等优势，广泛地
应用于光谱学、泵浦光源、集成光学和激光雷达等众多领域。其内置的布拉格光栅结
构作为DFB半导体激光器的核心元件，有关的制备方法一直是研究的重点。传统的
高精度光栅加工制备技术如电子束光刻、全息曝光光刻和纳米压印等工艺虽然可以制
备高精度的复杂表面微纳结构，但同时存在着掩模版限制、设备昂贵、工艺复杂和效
率低下等问题。使用飞秒激光直写制备光栅时因其独特的加工机制可以在确保加工精
度的条件下避免上述问题，并兼具加工灵
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