选择性外延硅基脊型光波导及制作方法.pdf
文本预览下载声明
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117741860A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202410108420.5
(22)申请日2024.01.25
(71)申请人苏州希卓科技有限公司
地址21
显示全部
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117741860A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202410108420.5
(22)申请日2024.01.25
(71)申请人苏州希卓科技有限公司
地址21