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选择性外延硅基脊型光波导及制作方法.pdf

发布:2024-03-19约1.04万字共10页下载文档
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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117741860A

(43)申请公布日2024.03.22

(21)申请号202410108420.5

(22)申请日2024.01.25

(71)申请人苏州希卓科技有限公司

地址21

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