RFPECVD法制备石墨烯薄膜及其力学性能的多维度探究.docx
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RF-PECVD法制备石墨烯薄膜及其力学性能的多维度探究
一、引言
1.1研究背景与意义
随着科技的飞速发展，新型材料的研发成为推动各领域进步的关键因素之一。石墨烯，作为一种由单层碳原子紧密堆积而成的二维蜂窝状晶体结构材料，自2004年被成功制备以来，凭借其在电学、热学、力学和光学等方面诸多优良性能，以及高性能传感器功能、催化剂功能、吸氢功能等独特性质，在众多领域展现出了巨大的应用潜力，成为了材料科学领域的研究热点。
在电子领域，石墨烯薄膜具有出色的导电性和导热性，其电导率远高于传统材料，载流子迁移率极高，能够支持高速度的电子信号传输，这使得它在制造高性能电子器件如集成电路、晶体管、柔性
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