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聚焦2025年，超精密加工技术在半导体制造中的高精度半导体材料加工技术报告.docx

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聚焦2025年，超精密加工技术在半导体制造中的高精度半导体材料加工技术报告

一、聚焦2025年，超精密加工技术在半导体制造中的高精度半导体材料加工技术报告

1.1技术背景

1.2超精密加工技术在半导体制造中的应用

1.2.1晶圆加工

1.2.2光刻加工

1.2.3封装加工

1.3高精度半导体材料加工技术发展趋势

1.3.1纳米级加工技术

1.3.2智能化加工技术

1.3.3绿色环保加工技术

1.3.4多材料加工技术

二、超精密加工技术在半导体制造中的关键工艺与应用

2.1超精密加工技术的核心工艺

2.1.1光刻工艺

2.1.2研磨工艺

2.1.3抛光工艺

2.1.4

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