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高分辨率LCoS相位调制器的关键技术与研制策略.docx

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高分辨率LCoS相位调制器的关键技术与研制策略

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学技术不断革新的浪潮中，LCoS相位调制器凭借其独特的优势，逐渐成为众多光学应用领域的核心元件，占据着举足轻重的地位。LCoS，即硅基液晶（LiquidCrystalonSilicon），是一种将液晶材料与硅基芯片相结合的新型光调制器件。它巧妙地利用了液晶的电光效应，能够在不改变光束振幅的前提下，对入射光的相位进行实时、动态的精确调制。

从结构上看，LCoS相位调制器以单晶硅作为基底，在其表面通过微加工技术制作出CMOS电路，再在电路之上涂覆液晶层，并覆盖透明电极。这种结构设计使其兼具了液

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