建立超纯水制备系统操作清洁维护保养程序该仪器使用确保成果.pdf

目的

建立超纯水系统操作、清洁和保养程序，规范该仪器的使用和，确保超纯

水符合工艺要求。

范围

本规程适用于超纯水系统的使用和。

职责

操作人员和人员：

严格按照此标准操作程序要求进行操作、清洁和保养。

部门主管/经理：

确保设备经过验证，处置意外情况。

程序

1定义：

1.1超纯水：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物

均去除至很低程度的水。

2设备基本信息：

2.1本设备为超纯水系统，可分为三个主要部分：软水系统、纯水系统和超纯水

系统。

2.2软水系统：

2.2.1该系统主要由增压泵、超滤系统和软化器构成。

2.2.2增压泵：本设备为GRUNDFOSMQ3-25型，适用电源：1×220-240-10/+6%，重量：13Kg，

最大流速：4.5m3/h。

2.2.3超滤系统：本设备为NovoSpringNFYD-5024S/P型超滤系统，主要由控制面板、A和B两

2.3.4软化器：本设备适用电源：100-240V，工作：0.15MPa-0.6MPa，进水温度：5℃-45℃。

具备自动再生、清洁功能。

2.3纯水系统

2.3.1本系统主要由RiOs系统、中间、循环泵以及微孔过滤器组成。系统产水量100L/H。

2.3.2RiOs系统：本设备型号为RiOsTM100，包括Progard精密过滤柱和反渗透系统，每小时产

水约100L，系统要求进水电导小于2000µS/cm，进水温度：5℃-35℃，系统产水电导小于

100µS/cm，产水电阻率小于5MΩ*cm。

2.3.3中间：体积为500L，材质为PP-N。

2.3.4循环泵：本设备为格兰富CM泵，电源1x115/230V、60HZ，液体温度小于60℃。

2.3.5微孔过滤器：孔径：0.2µm。

2.4超纯水系统：

2.4.1本系统主要由Super-Q水系统、除热源柱和循环泵组成。产水量12L/min。

2.4.2Super-Q水系统：

2.4.2.1本系统包括两根阴阳离子交换柱和微孔过滤柱组成，进水温度5℃-40℃，最大工作

5.5bar,

2.4.2.2离子交换柱：最大工作6bar，

2.4.2.3除菌过滤柱：孔径0.2µm，

2.4.3除热原柱：本设备为Helicon-SS50型滤柱，最大工作10bar（25℃）。

2.4.5循环泵：本设备为格兰富CM泵，电源1x115/230V、60HZ，液体温度小于60℃。

3程序：

3.1超纯水工艺流程图：

自来水增压泵超滤软化反渗透中间

循环泵微孔过滤器离子交换吸附离子交换吸附微孔过滤器

除热原超纯水纯水

3.2操作前准备：

3.2.1检查设备是否完好，各阀门开闭状态和仪表管路是都正常

3.2.2检查管路有无跑冒滴漏。

3.2.3检查各设备电源已连接。

3.2.4确认设备处于待机状态。

3.3软水：

3.3.1打开自来水进水阀门、增压泵进口端阀门HV-02和出口端阀门HV-03，出口端表PI-

01显示自来水进水，当小于0.15MPa时，需要进行以下操作：连接增压泵电源，

增压泵自动运行，进水上升至自来水和增压泵之和。