原子层沉积工艺对太阳电池电性能影响研究.docx

原子层沉积工艺对太阳电池电性能影响研究

目录

原子层沉积工艺对太阳电池电性能影响研究（1）．．．．．．．．．．．．．．．．4

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

原子层沉积工艺原理简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.1原子层沉积技术定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.2工艺流程概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.3在太阳能电池制造中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

实验材料与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

3.1实验材料选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.2实验设备与仪器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.3实验设计与步骤．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.4数据采集与处理方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

实验结果与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

4.1电性能测试结果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.2结构表征结果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

4.3电性能影响因素分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

5.1研究结论总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

5.2对太阳能电池制造的启示．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

5.3未来研究方向建议．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

原子层沉积工艺对太阳电池电性能影响研究（2）．．．．．．．．．．．．．．．25

一、内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

1.2研究意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

二、原子层沉积技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

2.1原子层沉积原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

2.2原子层沉积技术特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

2.3原子层沉积在太阳电池中的应用现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

三、原子层沉积工艺对太阳电池电性能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

3.1原子层沉积对太阳电池电导率的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

3.1.1电导率提高机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

3.1.2电导率对太阳电池性能的贡献．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

3.2原子层沉积对太阳电池载流子寿命的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

3.2.1载流子寿命变化机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

3.2.2载流子寿命对太阳电池性能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

3.3原子层沉积对太阳电池开路电压的影响．．．．．．．．．．．．．．．