超精密加工技术在半导体制造中的高精度加工设备研发趋势报告.docx
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超精密加工技术在半导体制造中的高精度加工设备研发趋势报告范文参考
一、项目概述
1.1项目背景
1.1.1我国半导体产业的高速发展
1.1.2高精度加工设备在半导体制造中的应用
1.1.3提高我国半导体产业竞争力
1.2项目意义
1.2.1提高国际竞争力
1.2.2促进半导体产业链完善
1.2.3推动制造业转型升级
1.3项目目标
1.3.1突破关键技术
1.3.2提高半导体器件精度和性能
1.3.3降低生产成本，提高生产效率
1.4项目实施策略
1.4.1加强产学研合作
1.4.2政策扶持
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