半导体三讲-下单晶硅生长技术.pdf
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单晶硅简介
硅(Si)材料是、电子技术和光伏技术最重
要的基础材料。
从某种意义上讲,硅是影响国家未来在高新技术和
能源领域实力的战略资源。
作为一种功能材料,其性能应该是各向异性的,因
此硅大都应该成硅单晶,并加工成抛光
片,方可制造IC器件,超过98%的电子元件都是使
用硅单晶
2022/4/18
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半导体单晶炉三讲.pdf
硅晶片的生长技术
•单晶硅基片(SiliconWafer)，之所以在诸多元素
如锗(Germanium)或化合物如砷化稼(GaAs)等材
料中脱颖而出，成为超大规模(VLSI)元器件的
基片材料，其在于，首先，硅是地球表面存量丰
富的元一，而其本身的无毒性以及具有较宽的带
宽（Bandga
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半导体单晶硅的缺陷.ppt
第一页，共28页 一、点缺陷 点缺陷的概念：由于晶体中空位、填隙原子及杂质原子的存在，引起晶格周期性的破坏，发生在一个或几个晶格常数的限度范围内，这类缺陷统称为点缺陷。 按其对理想晶格的偏离的几何位置及成分来划分：空位、填隙原子、外来杂质原子和复合体（络合体）等。 2.2.1 微观缺陷 第二页，共28页 图 2-3-1 空位缺陷 1、空位：晶体中的原子由于热运动或辐射离开平衡位置跑到晶格的空隙中或晶体的表面，原来的位置又没被其他的原子占据而留下的空位。如图所示： 第三页，共28页 空位存在的形式： 1）晶体由在冷却到室温的过程中，空位来不及扩散直接被“冻结”在体内。 2)与杂质原子形成络合体
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半导体单晶硅的缺陷.ppt
第一页，共三十二页，2022年，8月28日 一、点缺陷 点缺陷的概念：由于晶体中空位、填隙原子及杂质原子的存在，引起晶格周期性的破坏，发生在一个或几个晶格常数的限度范围内，这类缺陷统称为点缺陷。 按其对理想晶格的偏离的几何位置及成分来划分：空位、填隙原子、外来杂质原子和复合体（络合体）等。 2.2.1 微观缺陷 第二页，共三十二页，2022年，8月28日 图 2-3-1 空位缺陷 1、空位：晶体中的原子由于热运动或辐射离开平衡位置跑到晶格的空隙中或晶体的表面，原来的位置又没被其他的原子占据而留下的空位。如图所示： 第三页，共三十二页，2022年，8月28日 空位存在的形式： 1）晶体由在冷却
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半导体单晶硅的缺陷.ppt
第1页，共32页，星期日，2025年，2月5日一、点缺陷点缺陷的概念：由于晶体中空位、填隙原子及杂质原子的存在，引起晶格周期性的破坏，发生在一个或几个晶格常数的限度范围内，这类缺陷统称为点缺陷。按其对理想晶格的偏离的几何位置及成分来划分：空位、填隙原子、外来杂质原子和复合体（络合体）等。2.2.1微观缺陷第2页，共32页，星期日，2025年，2月5日图2-3-1空位缺陷1、空位：晶体中的原子由于热运动或辐射离开平衡位置跑到晶格的空隙中或晶体的表面，原来的位置又没被其他的原子占据而留下的空位。如图所示：第3页，共32页，星期日，2025年，2月5日空位存在的形式：1）晶体由在冷却到室温的过程中，
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CEMIA2020-2-02 半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范—编制说明.pdf
一、工作简况，包括任务来源、主要工作过程、主要参加单位和工作组成员及其所做的
工作等
1、任务来源
为了更好的规范半导体单晶硅生长用石英坩埚行业发展，指导企业生产，让所有生
产企业有统一的标准来衡量产品质量，进行生产。中国电子材料行业协会于2020年决
定制定《半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范》团体标准。
本规范由锦州佑鑫石英科技有限公司，内蒙古欧晶石英有限公司与江西中昱新材料
科技有限公司负责起草。2020年9月成立了编制组，共同起草制定了《半导体单晶硅生
长用石英坩埚生产规范》团体标准。
2、主要工作过程
2020年7月成立了编制组并展开工作。参阅了国内外相关的标准和文献，努力编制
出高
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CEMIA2020-2-01 半导体单晶硅生长用石英坩埚团体标准—征求意见稿.pdf
ICS
6
CCS
团体标准
T/CEMIA-
×××××××
半导体单晶硅生长用石英坩埚
Quartzcrucibleforsemiconductormonosilicongrowth
（征求意见稿）
本稿完成日期：2020年12月10日
××××-××-××发布××××-××-××实施
中国电子材料行业协会发布
T/CEMIAXXX-XXXX
半导体单晶硅生长用石英坩埚
1范围
本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，并规定了尺寸偏差、技术要求、试验
方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。
本文件适用于以高纯石英砂（成份：二氧化硅）为原料，采用电弧熔融法生产的用于半导体单晶硅
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CEMIA2020-2-02 半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范—征求意见稿.pdf
ICS**.***
F12
团体标准
T/CEMIA***－2020
半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范
Quartzcruciblemanufacturingpracticesforsemiconductormonosilicongrowth
（征求意见稿）
20××-××-××发布20××-××-××实施
中国电子材料行业协会发布
T/CEMIA000－2020
半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范
1范围
本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业
环境及产品质量管控的程序和总体原则。
本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚生产过程。
2规范性引
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CEMIA2020-2-01 半导体单晶硅生长用石英坩埚团体标准—编制说明.pdf
一、工作简况
1、任务来源
为了进一步规范半导体用石英坩埚产品的技术要求，推进半导体硅晶片产业链的不
断完善和发展。中国电子材料行业协会石英材料分会于2020年决定起草编制《半导体
单晶硅生长用石英坩埚》团体标准。
本标准由内蒙古欧晶科技股份有限公司，锦州佑鑫石英科技有限公司，江西中昱新
材料科技有限公司起草。
2、主要起草编制过程
2020年7月成立标准编制组，调研了国内外的半导体石英坩埚的使用标准和生产
厂家的现状，进一步比较充分地对比和评价国内外相关产品指标和性能，并明确了编制
组的工作职责和任务；
2020年9月在内蒙古呼和浩特召开了《半导体单晶硅生长用石英坩埚》的团体标准
及生产标准
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半导体单晶硅片生产加工项目.PDF
成都青洋电子材料有限公司
半导体单晶硅片生产加工项目
环境影响报告书
ENVIRONMENTAL IMPACT ASSESSMENT REPORT
(报批本)
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高氧半导体单晶硅用石英坩埚.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213113596 U
(45)授权公告日 2021.05.04
(21)申请号 202021817914.4
(22)申请日 2020.08.27
(73)专利权人 廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公
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半导体硅单晶生长中缺陷预测与控制研究.docx
半导体硅单晶生长中缺陷预测与控制研究
一、引言
随着现代微电子技术的飞速发展，半导体材料尤其是硅单晶体的质量要求日益严格。硅单晶中的缺陷不仅影响材料的电学性能，还对器件的可靠性和使用寿命产生深远影响。因此，对半导体硅单晶生长过程中的缺陷预测与控制研究显得尤为重要。本文旨在探讨半导体硅单晶生长过程中缺陷的形成机制、预测方法及控制策略，以期为提高硅单晶体的质量提供理论支持和实践指导。
二、硅单晶生长中的缺陷形成机制
硅单晶生长过程中的缺陷主要包括点缺陷、线缺陷和面缺陷等。这些缺陷的形成与生长条件、原料纯度、设备工艺等多方面因素密切相关。点缺陷如空位、自间隙原子等，常由原料中的杂质或生长过程中的热应
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节能型功率器件用半导体单晶硅片项目可行性研究报告.pptx
节能型功率器件用半导体单晶硅片项目可行性研究报告;;01;产业链完善;技术进步;随着节能型功率器件市场的不断发展，对半导体单晶硅片的需求不断增加，项目建设具有广阔的市场前景。;投资目标与预期效果;02;新能源汽车;;随着科技的不断进步，节能型功率器件将向更高效率、更高功率密度、更低损耗方向发展。;目标客户群体定位;03;采用先进的晶体生长技术，通过精确控制晶体生长过程中的各项参数，实现高品质、低能耗的半导体单晶硅片生产。;原料准备;;质量控制体系构建;04;项目实施步骤划分;;资源需求及保障措施;技术风险;05;;;;项目实施后，可为社会提供XX个就业岗位，缓解就业压力。;06;遵守国家环保法
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半导体级单晶硅棒生产建设项目可行性研究报告.doc
半导体级单晶硅棒生产线建设项目
可行性研究报告
中咨国联｜出品
DATE\@EEEE年O月二〇二一年二月
第
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第
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目录
TOC\o1-3\h\z\u3379第一章总论 1
313591.1项目概要 1
234881.1.1项目名称 1
106081.1.2项目建设单位 1
227091.1.3项目建设性质 1
317011.1.4项目建设地点 1
209531.1.5项目负责人 1
233151.1.6项目投资规模 1
3261.1.7项目建设规模 2
240581.1.8项目资金来源 2
233311.1.9项目建设期限 2
261881.2项目建设单位介绍
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半导体级单晶硅材料行业投资机会分析与策略研究报告.pptx
半导体级单晶硅材料行业投资机会分析与策略研究报告
汇报人：XXX
20XX-XX-XX
CATALOGUE
目录
行业概述
投资机会分析
策略研究
成功案例分析
未来展望
01
行业概述
全球半导体级单晶硅材料市场规模不断扩大，预计未来几年将继续保持增长趋势。
随着5G、物联网、人工智能等新兴技术的快速发展，半导体级单晶硅材料市场需求将进一步增加。
增长
规模
地位
半导体级单晶硅材料是现代电子信息产业的基础材料，对国家经济发展和战略安全具有重要意义。
作用
半导体级单晶硅材料在集成电路、微电子器件、太阳能电池等领域中发挥着至关重要的作用，对推动相关产业的发展具有关键作用。
02
投资机会分析
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中国半导体单晶硅片市场运行现状及投资规划建议报告.docx
PAGE
1-
中国半导体单晶硅片市场运行现状及投资规划建议报告
一、中国半导体单晶硅片市场运行现状
(1)近年来，随着中国半导体产业的快速发展，单晶硅片作为半导体制造的核心材料，市场需求持续增长。据相关数据显示，2020年中国单晶硅片市场规模达到约1000亿元，同比增长约20%。在政策支持和技术创新的双重驱动下，国内单晶硅片产量逐年攀升，已经成为全球最大的单晶硅片生产国。例如，龙头企业如中环股份、隆基股份等，其产能和市场份额逐年提升，推动了市场整体的发展。
(2)在产品结构方面，中国单晶硅片市场已经从多晶硅片向单晶硅片转变。目前，单晶硅片的市场份额已超过60%，其中，大尺寸单晶硅片（如210